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장비기본정보

기관명
강릉원주대학교 공동실험실습관
장비명
전계방사형 주사전자현미경(Jeol JSM-IT700) (Field Emission Scanning Electron Microscope)
모델명
JSM-IT700
제작사(국가)
일본
제작년도
2023
용도
분석
분류
영상장비
취득일
2023.12.21
장비설명
전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM)은 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 도달하여 발생되는 여러 전자 정보 중 이차전자 및 반사전자를 검출하여 미소 영역에 대한 상(최대배율 60만배) 관찰기능을 가지고 있을 뿐만 아니라 원소 분석 기능이 가능한 Energy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS)가 장착되어 시료 표면에서 발생하는 X-선을 검출하여 미세영역에 포함되어 있는 원소들에 대한 정성, 정량 분석을 할 수 있다.
장비구성

성능
1) Accelerating Voltage : 0.5kV to 30kV(53steps)
2) Resolution : 1.0nm (Acc.V 20 kV, SEI), 3.0nm (Acc.V 1 kV, SEI)
3) Signal
- High Vacuum mode : Secondary Electron Image
- Backscattered Electron Image
- Low Vacuum mode : Backscattered Electron Image
4) Magnification : x5 to x600,000(Image Mag.), x14 to x1,649,449(Displayed Mag.)
5) Probe current : Several pA to 300nA
6) Pressure control range in specimen chamber : 10 to 150 Pa
7) EDS Related: Resolution(FWHM) : 129eV, Detectable elements : Be to U
8) Electron Gun : Schottky FE-Gun
NTIS NO
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
직접사용
사용료유형
시간당
이용료
30,000원
설치형태
고정
설치장소
N18-113
장비상태
정상
담당자
김동주
연락처
0336402500
팩스
0336402503
사용방법
온라인

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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